SHPro系列，搭载制冷型面阵CCD探测器，是一款高灵敏度、高信噪比、大动态范围的光谱仪，可广泛用于弱信号光谱检测技术应用领域。例如半导体领域刻蚀终点检测、膜厚在线监测、拉曼物质成分识别等。也可应用在生产线及科研实验室等领域，提供高灵敏度测量功能，在复杂的工业环境中，该系列具备强大的热波长稳定性，系统热稳定性好。

高灵敏度、高信噪比、大动态范围的光谱仪，可广泛用于弱信号光谱检测技术应用领域

1、拉曼光谱检测

2、终点刻蚀光谱检测