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红外光学温度计

红外光学温度计是一种测量光并通过校准以指示温度的设备。红外光学温度计检测来自热物体的辐射通量，并利用普朗克黑体辐射方程算法来计算物体的表面温度。所用的算法是基于普朗克黑体辐射方程。
红外光学温度计通过测量物体辐射的红外能量来计算物体的表面温度。半导体行业的红外温度计主要应用于晶体生长阶段，分为Si探测器、铟镓砷探测器以及热电堆探测器三种。从测温原理上分为比色和单色，从光通形式分为透镜型及光导型。
和其光电HQ-RTS系列红外温度计可应用于MOCVD、氧化扩散炉、PVD、CVD、ALD等半导体设备，具有高精准度、高重复性、高可靠性、可定制、技术支持快速响应等诸多优势。

HQ-RTS-P系列红外光学温度计

HQ-RTS-P 系列高精度红外测温仪具有很高的信噪比。能够以及高精度测量较低的温度来控制工艺过程。
HQ-RTS-P系列采用蓝宝石光棒（即“光管”）作为镜头收集来自目标的红外辐射，光管镜头的优点是可提供较低的温度测量值，并易于集成到通常用于高级材料沉积（生长）和刻蚀（去除）工艺的真空反应设备。

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砷化镓半导体光谱吸收式光纤温控仪

法兰盘

贯通器

转接光纤

测温光纤

红外光学温度计

IC Wafer

TC Wafer

HQ-RTS-P系列红外光学温度计

HQ-RTS-L系列红外光学温度计

开关柜局部放电在线监测系统

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