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HQ-RTS-P系列红外光学温度计

HQ-RTS-P 系列高精度红外测温仪具有很高的信噪比。能够以及高精度测量较低的温度来控制工艺过程。
HQ-RTS-P系列采用蓝宝石光棒（即“光管”）作为镜头收集来自目标的红外辐射，光管镜头的优点是可提供较低的温度测量值，并易于集成到通常用于高级材料沉积（生长）和刻蚀（去除）工艺的真空反应设备。