SH2000+系列,搭载非制冷高速线阵CMOS探测器,是一款可见-近红外谱段、结构紧凑、支持高采样率的光谱仪,可用于高速采集光谱检测技术应用领域,例如CMP制程膜厚终点检测等,也可应用在生产线及科研实验室等领域,提供高灵敏度测量功能,在复杂的工业环境中,该系列具备强大的热波长稳定性,系统热稳定性好。
结构紧凑、支持高采样率的光谱仪,可用于高速采集光谱检测技术应用领域。
1、CMP膜厚终点检测