半导体
CIGS太阳能薄膜电沉积
非晶硅薄膜沉积
CZ晶体生长
测温范围
250℃ 1800℃
测温精度
±1.5℃
光谱响应波长
0.96/1.02μm
重复性
±0.1℃
测温分辨率
0.001℃
响应时间
50 ms